Système de test de résistivité à quatre sondes à haute température détails Introduction

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Vue d'ensemble

Système de test de résistivité à quatre sondes à haute température détails Introduction

Détails du produit

Aperçu des fonctionnalités: Overview

1. Méthode de mesure combinée électrique double à quatre sondes pour tester la résistance carrée et le système de résistivité en combinaison avec la boîte à haute température

2. Configurez le thérapeute de sonde de test de quatre sondes à haute température

3. LOGICIEL PC pour le traitement des données et le contrôle de la mesure.

4. Gamme d'essai de mesure.

Système de test de résistivité à quatre sondes à haute température détails Introduction

Description de l'application:

Les exigences de mesure de la conductivité électrique des matériaux semi - conducteurs pour les variations de température, le logiciel de mesure et de contrôle cartographie en temps réel les courbes de variation des données de température et de résistance, de résistivité, de conductivité et analyse des données de processus.

Secteur d'application: applicable

industry:

Utilisé pour: les entreprises, les universités, les départements de recherche scientifique sur la céramique conductrice, le silicium, le germanium monocristallin (barres, plaquettes) résistivité, la détermination de la résistance de bloc de la couche épitaxiale de silicium, la couche de diffusion et la couche d'implantation ionique et la mesure de verre conducteur (Ito) et d'autres matériaux nouveaux tels que la résistance de bloc, la résistivité et les données de conductivité.

Double électromètre à quatre sondes est l'utilisation d'une mesure à quatre sondes rectilignes à deux positions. Conception conforme à la méthode de test physique du silicium monocristallin

Normes et références aux normes américaines a.s.t.m.

Modèles et paramètres modèlesand technical parameters：

Spécifications modèle

Models

FT-351A

FT-351B

FT-351C

1. Plage de résistance carrée Sheet

resistance

10 - 5 ~ 2 × 105 Ω / □

10 - 6 ~ 2 × 105 Ω / □

10 - 4 ~ 1 × 107 Ω / □

2. Gamme de résistivité Resistivity

range

10 - 6 ~ 2 × 106 Ω - CM

10 - 7 ~ 2 × 106 Ω - CM

10 - 5 ~ 2 × 108 Ω - CM

3. Test de la plage de courant Current

range

0,1 μa. μa. 0 μa, 100 μa, 1 ma, 10 ma, 100 ma

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

Précision du courant Current Accuracy

± 0,1% de lecture

± 0,1 lecture

± 2%

5. Résistance Accuracy de précision

≤ 0,3%

≤ 0,3%

≤ 10%

Interface logicielle PC

PC software interface

Affichage: résistance, résistivité, résistance carrée, température, conversion d'unité, coefficient de température, courant, tension, forme de sonde, espacement de sonde, épaisseur

, conductivité électrique

LCD: resistance.resistivity.

sheet resistance. temperature.unit

conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe

spacing. thickness

Test Mode

Double mesure électrique

measurement

8. Travail de puissance de travail de l'instrument de quatre sondespower

AC 220V ± 10%.50hz < 30w

9 erreurs

≤ 3% (résultat standard

samples）

≤ 15%

Température (en option) highest Temperature

(choose and buy)

Température normale

Temperature - 400 ° C; 600°c; 800°c; 1000°c; 1200°c; 1400°c; 1600 ℃

Protection de l'atmosphère (auto - approvisionnement des clients de gaz)

Atmosphere protection(Gas

was provided by customers themselves)

Les gaz couramment utilisés sont les suivants: hélium (he), néon (ne), argon (AR), Krypton (KR), xénon (Xe), radon (RN), tous incolores, inodores, gazeux

Molécules monoatomiques

The usual gases are:

helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn).

all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules.

Précision de la température

Temperature precision

Valeur de température Blunt

Valeurs de Temperature: ≤ 1 - 3 ℃; Précision de contrôle de la température: ± 1°C

Vitesse de réchauffement:

rate of temperature

increase

La température normale commence 400 ℃ - 800 ℃ prend 15 minutes; 800 ℃ - 1200 ℃ prend 30 minutes; 1400℃ - 1600℃ prend 250 minutes - 300 minutes

About 15 minutes at room

Temperature à 400°C. 800°c; 800℃ à

1200 ℃ besoin de 30 minutes; 1400℃ à 1600℃ à 250 minutes.

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FT-351B	FT-351C	1. Plage de résistance carrée Sheet	resistance
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range	10 - 6 ~ 2 × 106 Ω - CM	10 - 7 ~ 2 × 106 Ω - CM	10 - 5 ~ 2 × 108 Ω - CM
3. Test de la plage de courant Current	range	0,1 μa. μa. 0 μa, 100 μa, 1 ma, 10 ma, 100 ma	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
10mA ---200pA	Précision du courant Current Accuracy	± 0,1% de lecture	± 0,1 lecture
± 2% 5. Résistance Accuracy de précision	≤ 0,3% ≤ 0,3%
≤ 10%	Interface logicielle PC
PC software interface	Affichage: résistance, résistivité, résistance carrée, température, conversion d'unité, coefficient de température, courant, tension, forme de sonde, espacement de sonde, épaisseur
, conductivité électrique	LCD: resistance.resistivity.		sheet resistance. temperature.unit
conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness	Test Mode
Double mesure électrique measurement	8. Travail de puissance de travail de l'instrument de quatre sondespower AC 220V ± 10%.50hz < 30w
9 erreurs ≤ 3% (résultat standard	samples）
≤ 15% Température (en option) highest Temperature	(choose and buy) Température normale
Temperature - 400 ° C; 600°c; 800°c; 1000°c; 1200°c; 1400°c; 1600 ℃ Protection de l'atmosphère (auto - approvisionnement des clients de gaz)	Atmosphere protection(Gas
was provided by customers themselves) Les gaz couramment utilisés sont les suivants: hélium (he), néon (ne), argon (AR), Krypton (KR), xénon (Xe), radon (RN), tous incolores, inodores, gazeux	Molécules monoatomiques
The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn).	all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. Précision de la température
Temperature precision Valeur de température Blunt	Valeurs de Temperature: ≤ 1 - 3 ℃; Précision de contrôle de la température: ± 1°C
Vitesse de réchauffement: rate of temperature	increase La température normale commence 400 ℃ - 800 ℃ prend 15 minutes; 800 ℃ - 1200 ℃ prend 30 minutes; 1400℃ - 1600℃ prend 250 minutes - 300 minutes
About 15 minutes at room Temperature à 400°C. 800°c; 800℃ à	1200 ℃ besoin de 30 minutes; 1400℃ à 1600℃ à 250 minutes. Matériaux à haute température